Cr掺杂ZnO薄膜晶体结构及光学性能的研究

• 作者: 付长凤 刘超 陈希明 韩连福
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cr掺杂 ZnO薄膜 蓝移 磁控溅射法
• 年，卷（期）: 2010,（22）
• 页码范围: 46-49
• 分类号: O4723
• 字数: 3557字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在载玻片上制备了不同Cr掺杂浓度的ZnO薄膜,并对其紫外发光性能做了初步研究.XRD结果表明,所制备的样品具有纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长;透射谱表明,改变Cr掺杂浓度可以使ZnO薄膜的吸收边向短波方向移动,并且薄膜的禁带宽度连续可调;光致发光(PL)谱表明,所有样品的PL谱由发光中心位于370nm的紫外发光峰组成,且该峰的峰位蓝移,与吸收边缘移动的结果吻合.2.0%(原子分数,下同)的Cr掺杂可以提高ZnO的紫外发光强度,而过量的Cr掺杂反而会降低其紫外发光强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈希明	天津理工大学电子信息工程学院薄膜电子与通信器件重点实验室	34	136	7.0	9.0
2	刘超	东北石油大学电子科学学院	79	253	8.0	12.0
3	韩连福	东北石油大学电子科学学院	14	17	2.0	3.0
4	付长凤	东北石油大学电子科学学院	5	8	1.0	2.0