基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

• 作者: 刘翔 李铁 焦继伟 王跃林 高安然
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微液滴 温度梯度 表面张力梯度 电阻加热器 开放式结构
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 377-380
• 分类号: TN402
• 字数: 1640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.001

摘要

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.