单频激光干涉仪非线性误差修正方法

• 作者: 卢明臻 崔建军 施玉书 杜华 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光干涉仪 非线性误差修正 傅里叶级数 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 289-293
• 分类号: TB92
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.04.01

摘要

提出了一种谐波分离的干涉仪信号处理方法,利用傅里叶级数对校准信号进行最小二乘拟合得到修正模型.该方法适合于消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分.通过将修正分为初始相位计算和精确相位计算,可以使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化.模拟验证结果表明,当噪音信号幅度为基波信号幅度的5%时,残余误差的幅度约为±1 nm;而当噪音为0.5%时,残余误差约为±0.1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	崔建军		33	122	6.0	8.0
3	卢明臻		16	97	6.0	8.0
4	杜华		33	201	8.0	12.0
5	施玉书		35	121	5.0	8.0