MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究

• 作者: 刘惠兰 刘欢 潘在友 王勇
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 谐振腔 闭环调整 陀螺 微光机电系统
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 172-175
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5~+9
• 字数: 2991字
• 语种: 中文

摘要

谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的.研究并提出了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺谐振腔的闭环调整方案,完成了基于机器视觉和PZT控制的闭环调整系统及调腔实验,得到了预期的效果,并进行了相关的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	37	217	8.0	13.0
2	刘惠兰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	156	6.0	12.0
3	刘欢	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	8	46	3.0	6.0
4	潘在友	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	15	2.0	2.0