高精度中小口径非球面修抛技术研究

• 作者: 刘军汉 周杨 熊长新 闫德全
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度 非球面 修抛 面形精度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 80-83
• 页数: 4页
• 分类号: TN204
• 字数: 2202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.01.019

摘要

为实现高精度中小口径非球面的加工,介绍了一种非球面修抛技术.基于Preston假设,将抛光过程描述成一个线性方程,计算得到材料的去除量与抛光时间、抛光压力和零件转速之间的函数关系.设计了整体修抛法和环带修抛法两种方法,在数控抛光的基础上,对口径为Ф117 mm的凹抛物面和口径为Ф17 mm凸双曲面进行修抛,修抛后非球面的面形精度PV值为0.184 μm,RMS均小于0.032 μm,达到了工程化应用要求,实现了中小口径非球面的高精度加工.