ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现

• 作者: 刘思远 刘文杰
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: ITO薄膜激光刻蚀设备 匀光系统 Matlab仿真 光束整形
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 工控技术
• 页码范围: 164-166
• 页数: 3页
• 分类号: TP29
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2010.03.051

摘要

在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平预光束的匀光系统.介绍匀光系统的机械结构和光学原理,重点利用Matlab图形绘制功能,设计合理参数对匀光系统进行仿真,从而验证设计的合理性.最后简述了目前已经成熟的光束整形技术,该匀光系统原理简单、功能卓越、使用简洁,在激光微细加工领域有很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文杰	苏州大学机电工程学院	38	211	7.0	12.0
2	刘思远	苏州大学机电工程学院	2	4	2.0	2.0