微机电系统关键技术及其研究进展

• 作者: 张冬至 胡国清
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械加工 微传感器 纳米制造 聚合物微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 系统及组件
• 页码范围: 513-520
• 分类号: TN454
• 字数: 9009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.03.051

摘要

微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国清	华南理工大学机械与汽车工程学院	36	377	9.0	18.0
2	张冬至	华南理工大学机械与汽车工程学院	9	197	4.0	9.0