便携式气体微流量计的设计

• 作者: 冯焱 张涤新 李得天 赵澜
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 便携式 气体微流量计 固定流导法 定容法 漏率值校准
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3954字
• 语种: 中文

摘要

为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计.该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量.在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点.流量计预计达到的技术指标是,测量范围:(10-4～1011)Pa·m3/s,标准不确定度小于10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0
4	赵澜		28	161	8.0	10.0