钛扩散LiNbO_3晶体光波导长周期光栅

• 作者: 康田 王琴 谌贝
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂 长周期光栅 光波导 钛扩散
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN253
• 字数: 864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2010.01.004

摘要

设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO_3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅.使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO_3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面.实验证明用这种结构设计长周期波导光栅是可行的.对光波导制造工艺和波导结构的深入研究,为制作高速电光调制型光栅提供技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康田		2	14	2.0	2.0
2	谌贝	天津大学精密仪器与光电子工程学院	1	4	1.0	1.0
3	王琴		2	6	2.0	2.0