介质阻挡放电等离子体及其在材料制备中的应用

• 作者: 戴乐阳 曾美琴 杨小平 欧阳柳章
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 介质阻挡放电等离子体 低温等离子体 表面改性 高能球磨
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 320-324
• 页数: 5页
• 分类号: TM89

摘要

介质阻挡放电等离子体（Dielectric barrier discharge plasma，DBDP）是一种在大气压下即可发生的低温等离子体，具有电子浓度大、电子平均能量高的特点，因此，DBDP应用在材料制备中具有独特的优势。综述了DBDP的发展历史、产生机理和基本特征、放电参数及其影响等，重点介绍了DBDP在臭氧发生、有机物合成、薄膜制备、材料表面改性、高能球磨等领域的应用，分析了研究中存在的主要问题及相应的解决方法，以期为相关领域的研究提供参考。