磁控溅射Cd1-xZnxTe多晶薄膜组分的可控生长

• 作者: 江锦春 潘健亮 王善力 葛玉建 褚君浩 邬云骅
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cd1-xZnxTe薄膜 磁控溅射 透射光谱
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 341-344,364
• 分类号: O484.1
• 字数: 2780字
• 语种: 中文

摘要

采用双靶位共溅射方法制备出组分可控的Cd1-xZnxTe薄膜样品,组分偏离小于0.13.采用XRD对不同生长温度制备的样品进行了结晶性分析,研究了薄膜结晶与生长温度的关系.采用AFM、SEM对样品进行了表面和界面分析,表明薄膜表面平整,界面清晰.对不同组分的Cd1-xZnxTe样品进行了透射光谱测量,得到了光学性质随组分的变化规律,并拟合得出了这些样品的带隙和组分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王善力		11	37	3.0	5.0
2	褚君浩		103	650	13.0	22.0
6	邬云骅		4	6	2.0	2.0
7	葛玉建		1	0	0.0	0.0
8	江锦春		5	8	2.0	2.0
9	潘健亮		1	0	0.0	0.0