AlGaInP/GaInP多量子阱MOCVD外延片光学特性测试

• 作者: 王雅芳 罗键
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaInP/GaInP MQW 拉曼光谱 金属有机物化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2731字
• 语种: 中文

摘要

利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长了不同周期的四元合金半导体材料AlGaInP/GaInP多量子阱(MQW)外延片,通过实验找到了在周期数和阱/垒宽度比等结构参数上生产AlGaInP/GaInP MQW的比较理想的结果.对常温下AlGaInP/GaInP MQW外延片的光学性质进行深入的分析和实验研究,发现当阱/垒宽度比a=0.56时,出光强度趋于饱和,当周期数目N=20时,FWHM减小到11.9 nm,可在一定程度上达到改善MQW结构设计和提高材料生长质量的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗键	厦门大学信息科学与技术学院	98	1025	17.0	28.0
2	王雅芳		1	2	1.0	1.0