Mg掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能研究

• 作者: 李东临 武光明 王怡 王芳平 邢光建 郭瑞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: Zn1-xMgxO薄膜 射频磁控溅射 禁带宽度 透过率
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 20-23
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3034字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射技术在(100)Si和玻璃衬底上沉积系列Mg掺杂ZnO(x=0～0.20)薄膜,XRD分析结果表明,Zn1-xMgO薄膜均为六角纤锌矿结构,薄膜呈现出 c轴择优生长特性,但随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小.当x=0.20时,薄膜出现(100)面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱.SEM分析表明,x=0.10时,薄膜表面平坦光滑,晶粒大小均匀,结构更加致密,结晶质量最佳.紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高薄膜在可见光范围内的透过率;同时增大了薄膜的禁带宽度;室温PL谱分析显示所有薄膜均出现了紫外发射峰和蓝光发射带,且紫外发射峰和蓝光发光带都随x值的增加而蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武光明		41	238	8.0	14.0
2	王怡		23	121	6.0	10.0
3	邢光建		30	127	6.0	11.0
4	郭瑞	北京化工大学材料科学与工程学院	4	38	2.0	4.0
8	李东临		11	30	3.0	5.0
9	王芳平	北京化工大学材料科学与工程学院	1	11	1.0	1.0