阵列位相环匀光器

• 作者: 万青松 刘明 吴秀龙 潘一鸣 谢常青 贾佳 陈军宁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光束整形 位相型衍射光学元件 阵列菲涅尔波带片 二元光学 匀光器
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 121-124
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.02.012

摘要

基于衍射光学中的角谱理论,针对一种分布为同心3环、相位为0.9π,0和0.9π的结构进行深入分析,提出一种10×10的3环2值位相环阵列结构,并与二元光学中的10×10的菲涅尔波带片阵列结构进行比较,应用MATLAB软件仿真632.8 nm激光器的高斯光通过二者后的效果.结果表明,阵列3环2值位相环对高斯光的匀光效果要明显优于阵列菲涅尔波带片,该阵列可以对激光束在远场的衍射光场进行修正,能较大地改善高斯光的匀光效果,在光均匀性要求较高的场合具有广泛的应用前景.