斜坡电流测试应用与比较方法研究

• 作者: 张荣哲 杨斯元 简维廷 赵永
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道氧化层 斜坡电流测试 电流斜坡速率 电流倍增速率 步长 统计比较
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 465-468
• 分类号: TN406
• 字数: 2950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.05.013

摘要

讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对测试结果击穿电荷具有的严重影响.指出斜坡电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性,使斜坡电流测试的结果具有可比较性.同时,讨论了由于斜坡电流测试本身的特性,击穿电荷具有非连续性,针对击穿电荷的非连续性,提供了一种统计上的数据处理方法,并且根据工程上不同的定性比较结果提供了不同的统计比较方法,可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定量的统计比较.在产品验证或生产线出现异常时,能够进行统计上的比较,给出定量的结果.据此能对生产线的稳定性或异常事件对产品的影响给出明确的结论,为受影响的产品的处置提供定量的数据支持.这是首次对斜坡电流测试数据的统计定量分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	简维廷		19	34	3.0	5.0
2	赵永		6	17	2.0	4.0
3	张荣哲		4	15	2.0	3.0
4	杨斯元		3	0	0.0	0.0