表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响

• 作者: 于征汕 何波 吕鹏 孟夏杰 李凤 马忠权
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 微波光电导 表面钝化 少子寿命 铁-硼对 复合中心
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 188-193
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/s11434-009-0687-0

摘要

分别采用0.08 mol/L的碘酒、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)SiNx:H和40%的HF酸对太阳电池级直拉单晶硅进行表面钝化,然后利用微波光电导衰减(μ-PCD)法测量硅片的少子寿命和铁-硼(Fe-B)对浓度.通过比较少子寿命测量值,发现0.08mol/L的碘酒的钝化效果最好,40%的HF酸的钝化效果最差.对硅片Fe-B对浓度测量结果的分析表明,同一硅片经过不同钝化处理后Fe-B对浓度分布差异较大,且只有经过PECVD沉积SiNx:H钝化的硅片的Fe-B对浓度分布与少子寿命分布有显著的相关性.此外,实验研究还发现,钝化效果比较好的情况下,复合中心浓度分布与Fe-B对浓度分布存在很强的相关性.实验的半定量估算、分析表明,少子寿命、Fe-B对浓度以及复合中心浓度分布的间接测量结果,受到样品表面钝化效果的影响.