物理汽相传输法生长掺钒碳化硅单晶新鲜表面的实验研究

• 作者: 严如岳 冯玢 洪颖 王香泉 章安辉 郝建民
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: SiC 掺钒 PVT 新鲜表面 SEM SIMS
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 75-76,79
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2010.03.024

摘要

采用SEM观察物理汽相传输(PVT)法生长掺钒SiC单晶新鲜表面时,发现有特定形状的析出相,经SIMS、SEM能谱(EDX)、XRD、台阶仪综合分析,确定析出相的主要成分是钒,且是凸起的,推断其在单晶生长降温过程中产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪颖	中国电子科技集团公司第四十六研究所	15	36	3.0	5.0
2	郝建民	中国电子科技集团公司第四十六研究所	23	56	4.0	6.0
3	冯玢	中国电子科技集团公司第四十六研究所	14	26	3.0	4.0
4	王香泉	中国电子科技集团公司第四十六研究所	8	24	2.0	4.0
5	章安辉	中国电子科技集团公司第四十六研究所	11	12	2.0	2.0
6	严如岳	中国电子科技集团公司第四十六研究所	10	50	5.0	6.0