Au点阵模板控制生长ZnO堆垒单晶棒

• 作者: 刘文军 孙海波 曹玉萍 石锋 薛成山 郭永福
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 AU点阵模板 磁控溅射 单晶堆垒 光学特性
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构专辑
• 页码范围: 277-281
• 分类号: TB383|TN304.21
• 字数: 3006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.05.004

摘要

采用磁控溅射技术在Si(111)衬底上溅射Au薄膜,900℃退火生成Au点阵模板,在AU点阵模板上溅射ZnO薄膜,O2气氛下1 000℃退火制备了ZnO堆垒单晶棒.研究了不同直径Au点阵模板对ZnO单晶棒结构性能的影响.采用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)对样品结构形貌进行了分析.结果表明,生成有序排列的ZnO棒均由诸多六方纤锌矿单晶堆垒而成,较小Au点阵生成单晶棒的直径约为100 nm.室温光致发光PL谱表明在376 nm出现一个较强近紫外发射,在488 nm附近出现一个较宽的深能级绿光发射,说明所制备样品具有良好的发光特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石锋	山东师范大学半导体研究所	31	83	5.0	6.0
2	薛成山	山东师范大学半导体研究所	117	476	11.0	13.0
3	孙海波	山东师范大学半导体研究所	19	104	6.0	9.0
5	曹玉萍	山东师范大学半导体研究所	9	63	5.0	7.0
6	郭永福	山东师范大学半导体研究所	8	38	4.0	6.0
7	刘文军	山东师范大学半导体研究所	7	35	4.0	5.0