三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化

• 作者: 张大卫 田延岭 贾晓辉
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机械学 纳米压印光刻技术 精密定位工作台 工作空间分析 优化设计
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 624-630
• 分类号: TN305
• 字数: 4131字
• 语种: 中文

摘要

针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台.基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析了该类工作台的逆运动学特性;根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间.另外,为了达到以预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积,对工作台结构参数进行优化,并通过数值仿真验证其有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大卫	天津大学机械工程学院	146	2041	26.0	38.0
2	田延岭	天津大学机械工程学院	32	324	10.0	16.0
3	贾晓辉	天津大学机械工程学院	5	81	3.0	5.0