一种新型MEMS可调滤波器的设计

• 作者: 刘锋 叶双莉 李世峰 王高峰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 滤波器 共面波导 连续可调 非均匀分布
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 696-700
• 分类号: TN703|TN713
• 字数: 1450字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.11.009

摘要

提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案.基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20 GHz的二阶带通可调滤波器模型.通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析.仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部分的MEMS电容高度,该滤波器中心频率在18.71～20.62 GHz连续可调,相应的3 dB带宽值为2.36 GHz和2.94 GHz.该滤波器9.5%的可调率相比于同类型均匀分布式滤波器的可调范围增加了大约18.6%(300 MHz).通过分析可知,采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器不仅结构更紧凑合理,而且获得了比均匀结构更大的调节范围,极大地增加了设计的灵活性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王高峰	武汉大学微电子与信息技术研究院	36	209	6.0	13.0
2	叶双莉	武汉大学微电子与信息技术研究院	12	35	3.0	5.0
3	刘锋	武汉大学微电子与信息技术研究院	17	57	5.0	7.0
4	李世峰	武汉大学物理科学与技术学院	2	7	2.0	2.0