软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究

• 作者: 伍志军 张贵彦 李加东 缪同群
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 物理学
• 关键词: X-射线光学 滤光片 电铸镍网 太阳X-射线成像望远镜
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 声光及光纤技术
• 页码范围: 195-197
• 页数: 3页
• 分类号: O434.12
• 字数: 2315字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.02.009

摘要

介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网厚14 μm,栅线间隔36.3 μm,透过率80%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	缪同群	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	101	5.0	10.0