金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能

• 作者: 吕反修 张跃飞 陈家庆 陈飞
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 金属密封环 大气压等离子体枪 磨损性能
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 36-39
• 分类号: TB43|TH117.1
• 字数: 2824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2010.12.008

摘要

采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350 ℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能.利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能.结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500 nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6 nm,其与基体结合力达到49 N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈家庆	北京石油化工学院材料科学与工程系	274	2922	28.0	37.0
2	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
3	张跃飞	北京工业大学固体微结构与性能研究所	27	73	5.0	6.0
4	陈飞	北京石油化工学院材料科学与工程系	100	461	11.0	15.0