介质阻挡放电等离子体沉积多孔硅纳米颗粒膜的光发射及红外光谱

• 作者: 刘磊 张菁 杨平 杨沁玉 王德信
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多孔硅纳米颗粒膜 发射光谱 红外光谱 占空比 介质阻挡放电等离子体沉积
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 904-907
• 分类号: O482.31
• 字数: 1714字
• 语种: 中文

摘要

用介质阻挡放电(DBD)等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在沉积区域加载脉冲负偏压进行调节,在玻璃基片上沉积得到具有荧光特征的多孔硅纳米颗粒膜.沉积过程的发射光谱结果表明,在412 nm处出现SiH*(A2△→X2π0-0)特征峰,证明放电沉积过程中存在不同程度的硅烷裂解.将脉冲负偏压固定在-300 V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜的红外光谱显示Si-0-Si在1070cm-1伸缩振动吸收峰与800 cm-1的弯曲振动峰都有所增强,而930 cm-1的Si-H弯曲振动减弱.说明随着占空比的增加,Si-0-Si键的结合越来越明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨沁玉	东华大学理学院	10	49	4.0	6.0
5	张菁	东华大学理学院	41	254	9.0	14.0
6	王德信	东华大学材料学院	4	7	2.0	2.0
7	杨平	东华大学材料学院	6	37	4.0	6.0
8	刘磊	东华大学理学院	3	9	2.0	3.0