硬脆材料超声振动磨削的试验研究

• 作者: 张淳 王军
• 来源期刊: 辽宁工程技术大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 硬脆材料 硅片 超声振动磨削 粗糙度
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 287-289
• 分类号: TH145
• 字数: 1333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0562.2010.02.030

摘要

针对硬脆材料磨削效率低的难题,研究了硅片的超声振动磨削方法.进行了超声振动磨削与普通磨削的对比试验,研究了磨削参数变化对磨削力及表面粗糙度的影响,根据试验结果,分析了硬脆材料的脆性与塑性去除机理.研究证明:超声振动磨削硬脆材料虽然使粗糙度略有变大,但能够明显提高加工效率,降低加工成本.综合考虑精度与效率指标,超声振动磨削是一种实用的硬脆材料加工技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	燕山大学机械工程学院	52	336	9.0	15.0
2	张淳	燕山大学机械工程学院	6	23	3.0	4.0