摩擦条件对掺钨DLC膜摩擦磨损性能的影响

• 作者: 付志强 代明江 林松盛 王成彪 肖晓玲
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺钨DLC膜 摩擦磨损性能 微观结构 摩擦条件
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-4
• 分类号: O484
• 字数: 1667字
• 语种: 中文

摘要

本研究利用SEM、AES、XRD、Raman谱仪、纳米压痕仪、划痕仪和球-盘磨损实验机对掺钨DLC膜的微观结构和摩擦学性能进行了研究,结果表明:掺钨DLC膜光滑致密,具有纳米晶碳化钨和非晶碳组成的复相结构;其硬度和弹性模量为19-23GPa和200-228GPa,膜/基结合力好;摩擦系数随着载荷的增加略有增加,转速对摩擦系数的影响较小;当载荷大于1.96N时,磨损率随着载荷增加急剧增大,磨损率随着转速的增加存在一个极小值;DLC膜的磨损主要是由基体塑性变形引起的梯度掺钨DLC膜内部不同亚层之间的剥离和DLC膜的断裂引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林松盛	广州有色金属研究院材料表面工程研究所	45	332	11.0	14.0
2	代明江	广州有色金属研究院材料表面工程研究所	52	458	13.0	18.0
3	肖晓玲	广州有色金属研究院材料表面工程研究所	4	40	3.0	4.0