基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量

• 作者: 丁喜冬 傅刚 刘志宇 曾荣耀
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微桥制备 湿法刻蚀 共振频率
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 微/纳工艺、材料与器件
• 页码范围: 584-588
• 分类号: TH703
• 字数: 3617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.06.017

摘要

基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥.通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术.利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整.最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学固体物理与材料研究实验室	53	174	8.0	11.0
2	丁喜冬	中山大学物理科学与工程技术学院	5	15	3.0	3.0
6	刘志宇	广州大学固体物理与材料研究实验室	20	30	4.0	4.0
7	曾荣耀	中山大学物理科学与工程技术学院	2	3	1.0	1.0