双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施

• 作者: 傅云霞 王青 祝逸庆 葛爱明 蒋秀兰 蔡明钢 陈磊 马建敏
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 量块 激光干涉仪 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 27-29
• 分类号: TH74
• 字数: 2935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2010.06.006

摘要

该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电光学院	133	991	16.0	23.0
2	葛爱明	南京理工大学电光学院	12	58	4.0	7.0
3	马建敏		12	13	3.0	3.0
4	祝逸庆		11	27	3.0	4.0
5	王青	南京理工大学电光学院	39	323	10.0	16.0
6	傅云霞		30	86	6.0	7.0
7	蒋秀兰		8	21	3.0	4.0
8	蔡明钢		3	4	1.0	2.0