NiZn铁氧体对叠层型薄膜变压器传输特性的改善

• 作者: 宋开新 徐军明 秦会斌 胡冀 郑梁
• 来源期刊: 微波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜变压器 传输特性 铁氧体薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 69-71,86
• 分类号: TM4
• 语种: 中文

摘要

展示了一种新型的基于硅IC工艺的叠层型螺旋薄膜变压器,通过分析铁氧体的特性和磁谱,设计了薄膜变压器结构和制造工艺.采用光刻技术制备形状相同且完全叠合的初级与次级线圈,提高线圈耦合效率.空心变压器两层线圈之间采用SiO_2作为绝缘层;磁芯变压器的两层线圈之间采用射频磁控溅射NiZn铁氧体薄膜作为绝缘层.在10MHz～20GHz的频率范围内分别对空心和磁芯叠层型螺旋薄膜变压器进行了测试,测试结果表明:磁芯薄膜变压器的带宽和传输效率都大于空心薄膜变压器;铁氧体薄膜能大幅度提高薄膜变压器的传输效率;匝数比为10:10的磁芯薄膜变压器传输效率在频率9.85GHz时达到78.0%的最大传输效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军明	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	30	141	7.0	11.0
2	秦会斌	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	237	1329	17.0	25.0
3	郑梁	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	35	114	5.0	9.0
4	胡冀	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	10	39	3.0	6.0
5	宋开新	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	16	60	5.0	7.0