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三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
作者:
吴玉雷
张攀
李建隆
王伟文
董海红
陈光辉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
物质传递
化学气相沉积
数值模拟
多晶硅
摘要:
本文建立了三氯氢硅和氢气系统中混合气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合气相反应、表面反应的多晶硅气相沉积模型,利用流体力学计算软件(Computational Fluid Mechanics, CFD)Fluent6.2数值分析了气体进口速率、反应压力、表面温度和气体组成对硅化学气相沉积特性的影响,数值结果表明计算结果与相关实验数据吻合较好.分析表明在一定的条件下,硅沉积速率随温度、压力的升高而增加,在氢气浓度较高的情况下,硅沉积速率随氢气浓度增加而线性地降低.
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化学气相沉积
数值模拟
传质
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多晶硅副产物在生产系统内的循环利用
多晶硅
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文献信息
篇名
三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
来源期刊
人工晶体学报
学科
工学
关键词
物质传递
化学气相沉积
数值模拟
多晶硅
年,卷(期)
2010,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
494-499
页数
分类号
TQ021
字数
4104字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王伟文
青岛科技大学化工学院
87
484
12.0
18.0
2
李建隆
青岛科技大学化工学院
115
654
14.0
19.0
3
陈光辉
青岛科技大学化工学院
56
357
11.0
16.0
4
吴玉雷
青岛科技大学化工学院
6
50
3.0
6.0
5
张攀
青岛科技大学机电工程学院
17
130
7.0
11.0
6
董海红
青岛科技大学化工学院
2
37
2.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
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研究来源
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研究去脉
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期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
相关基金
山东省自然科学基金
英文译名:
Natural Science Foundation of Shandong Province
官方网址:
http://kyc.wfu.edu.cn/second/wnfw/shandongshengzirankexuejijin.htm
项目类型:
重点项目
学科类型:
期刊文献
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