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摘要:
本文建立了三氯氢硅和氢气系统中混合气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合气相反应、表面反应的多晶硅气相沉积模型,利用流体力学计算软件(Computational Fluid Mechanics, CFD)Fluent6.2数值分析了气体进口速率、反应压力、表面温度和气体组成对硅化学气相沉积特性的影响,数值结果表明计算结果与相关实验数据吻合较好.分析表明在一定的条件下,硅沉积速率随温度、压力的升高而增加,在氢气浓度较高的情况下,硅沉积速率随氢气浓度增加而线性地降低.
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三氯氢硅和氢气系统的气相沉积三维模拟
化学气相沉积
数值模拟
传质
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多晶硅
硅沉积速率
多晶硅副产物在生产系统内的循环利用
多晶硅
四氯化硅
冷氢化
二氯二氢硅
反歧化
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
来源期刊 人工晶体学报 学科 工学
关键词 物质传递 化学气相沉积 数值模拟 多晶硅
年,卷(期) 2010,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 494-499
页数 分类号 TQ021
字数 4104字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王伟文 青岛科技大学化工学院 87 484 12.0 18.0
2 李建隆 青岛科技大学化工学院 115 654 14.0 19.0
3 陈光辉 青岛科技大学化工学院 56 357 11.0 16.0
4 吴玉雷 青岛科技大学化工学院 6 50 3.0 6.0
5 张攀 青岛科技大学机电工程学院 17 130 7.0 11.0
6 董海红 青岛科技大学化工学院 2 37 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
物质传递
化学气相沉积
数值模拟
多晶硅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
相关基金
山东省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Shandong Province
官方网址:http://kyc.wfu.edu.cn/second/wnfw/shandongshengzirankexuejijin.htm
项目类型:重点项目
学科类型:
论文1v1指导