行星夹具膜厚均匀性分析

• 作者: 朱元强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 均匀性 膜厚分布 行星夹具 修正板
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 57-59
• 分类号: TN305.8
• 字数: 915字
• 语种: 中文

摘要

利用数学理论模型对平面行星夹具进行膜厚分布分析;然后采用电子束蒸发技术,以常用的Ta2O5和SiO2作为镀膜材料,在该行星夹具上分别沉积一定厚度的Ta2O5和SiO2单层膜,通过对光谱曲线的分析得两种膜料的膜厚的不均匀性都<5%,并模拟得出两种膜料大概的蒸发特性n值.为了得到更好的膜厚均匀性,在蒸发源和行星夹具之间加装修正板,同样沉积一定厚度的Ta2O5和SiO2单层膜,此时两种膜料的膜厚的不均匀性减小到<1%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱元强		3	6	2.0	2.0