溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质

• 作者: 刘先松 吕建国 唐震 黄凯
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Mg掺杂ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 微结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 1171-1175
• 分类号: O484
• 字数: 2283字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶技术在Si(111)和石英玻璃衬底上制备了Mg掺杂ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测试薄膜的微结构、表面形貌和光学性质.结果表明:所得Mg掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,随着退火温度升高,薄膜的晶格常数c由0.5288 nm减小到0.5278 nm,粗糙度从3.8 nm增大到6.5 nm,光学带隙由3.26 eV增大到3.31 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘先松	安徽大学物理与材料科学学院	19	58	5.0	6.0
2	吕建国	合肥师范学院物理与电子工程系	23	77	5.0	7.0
3	唐震	安徽建筑工业学院数理系	9	37	3.0	6.0
4	黄凯	安徽建筑工业学院数理系	18	67	6.0	7.0