大口径连续相位板波前检测

• 作者: 于瀛洁 侯晶 柴立群 温圣林 石琦凯 许乔
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 大相位梯度波前检测 子孔径拼接 连续相位板
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 809-814
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103703.0809

摘要

在高功率激光系统中,大口径连续相位板(CPP)元件是用来进行光束整形的关键衍射光学器件,由于其毫米量级的空间周期、大相位梯度的波前特征,大口径干涉仪无法满足检测需求.提出采用小口径高分辨率干涉仪结合子孔径拼接实现相位板元件透射/反射波前的检测,采用了误差均化的拼接方法,设计了针对圆形孔径的数据融合新算法,研制了子孔径拼接检测装置,实现了一块330mm×330mm的连续相位板元件透射波前的检测.实验结果表明,针对其毫米量级的周期,最大可检测到的波前梯度接近3μm/cm,检测重复性精度优于6nm[均方根(RMS)],波前数据模拟焦斑计算结果与高功率激光系统中的远场焦斑特性检测结果获得了较好的一致性.