一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法

• 作者: 于海涛 游佰强 胡秀丽
• 来源期刊: 材料开发与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 无损检测 三电极电容模型 保角变换 灵敏度
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 98-101
• 分类号: TQ637.2
• 字数: 1750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1545.2010.05.026

摘要

针对薄膜材料厚度无损测试技术,提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法.具体采用了三电极平行板电容器结构,该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头,电极之间的间距可变.依据电容原理和保角变换方法建立理论模型.通过Fortran语言编写算法,将得出的计算结果与传统方法进行比较.结果表明用此方法检测薄膜厚度变化,不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单,操作快捷,便于控制,低功耗,低成本等优点,还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	游佰强	厦门大学信息科学与技术学院	28	231	10.0	14.0
2	于海涛	中国船舶重工集团公司第七二五研究所厦门分部	7	38	4.0	6.0
3	胡秀丽	厦门大学信息科学与技术学院	1	4	1.0	1.0