等离子体技术在多晶硅还原炉的应用

• 作者: 李磊 童烘辉 蒲学森 钱峰 陈林
• 来源期刊: 应用能源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 等离子体发生器 等离子体加热
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TK229.1
• 字数: 4593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3230.2010.07.001

摘要

针对内蒙多晶硅项目,在等离子体发生器对还原炉内部进行加热的条件下,对炉内温度场进行了试验测试,同时采用FLUENT 软件对其进行了数值模拟.理论和计算的综合结果表明,等离子体加热技术在多晶硅还原炉中有着良好的加热应用效果.与同类型加热设备卤素灯相比,等离子发生器不仅加热效率高且运行成本相对较低,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李磊		3	4	1.0	2.0
2	童烘辉		1	3	1.0	1.0
3	蒲学森		4	4	1.0	2.0
4	陈林		1	3	1.0	1.0
5	钱峰		1	3	1.0	1.0