三氯氢硅合成工艺及控制

• 作者: 李光茜 李文光 罗平 谭宗国
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 流化态沸腾炉 串级控制 比例控制
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 44-47
• 分类号: TQ219
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2010.05.009

摘要

介绍了三氯氢硅的基本性质、用途、生产工艺和生产设备,并针对生产过程的要求提出了控制解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李光茜		4	31	2.0	4.0
2	罗平		4	16	2.0	4.0
3	谭宗国		4	17	2.0	4.0
4	李文光		7	15	1.0	3.0