三氯氢硅生产现存问题及发展前景

• 作者: 张颖琴 曹月丛 聂少林
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 四氯化硅 尾气治理 三氯化硼 三氯化磷
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2348字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2010.04.011

摘要

分析国内三氯氢硅生产中须解决的问题--副产物四氯化硅出路,尾气回收治理,精品三氯氢硅中含硼、磷,探讨了三氯氢硅的市场前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹月丛	华东理工大学化工研究生院	4	65	4.0	4.0