磁控溅射TiN/Cu-Zn纳米多层膜腐蚀和抗菌性能研究

• 作者: 巩春志 杨士勤 田修波 韦春贝
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiN/Cu-Zn多层膜 腐蚀 抗菌性能
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 96-100
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.01.21

摘要

采用双靶磁控溅射的方法在不锈钢表面沉积了TiN/Cu-Zn纳米多层膜,研究了多层结构对膜层耐腐蚀性能和抗菌性能的影响,以及表面腐蚀与抗菌的关系.结果表明,Cu-Zn层比较薄时,膜层的耐腐蚀性能比较好,随着Cu-Zn层厚度的增加耐腐蚀性能显著下降.Cu-Zn层薄时,膜层抗菌性能对TiN层厚度较为敏感;而当Cu-Zn层较厚时,抗菌性能对TiN层厚度不敏感,均具有较好的抗菌性能.存在合适的多层结构,如TiN层厚度为3.3～5nm左右,Cu-Zn层厚度约为4nm时,使得膜层具有良好的抗菌性能和耐腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	106	515	11.0	17.0
3	杨士勤	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	93	787	14.0	22.0
4	韦春贝	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	3	68	3.0	3.0