激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究

• 作者: 刘红婕 吴卫东 周信达 王凤蕊 蒋晓东 郑万国 黄进
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 熔石英 后表面划痕 宽深比 损伤特性
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 5122-5127
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

用光学显微镜和原子力显微镜记录HF酸刻蚀后熔石英元件后表面划痕的形貌结构,并利用单脉冲激光对其进行辐照测试,以研究不同结构参数划痕的激光损伤特性实验结果表明,由于HF酸的腐蚀钝化作用,划痕结构横向截面呈余弦形分布;其初始损伤阈值并非由单一的划痕宽度或深度参数决定,而是与其横向剖面结构的宽深比值密切相关;通过实验得到了二者之间的关系曲线,并采用时域有限差分算法对不同结构参数划痕附近光场分布进行理论模拟,理论场计算得到的增强结果与实验值符合得很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘红婕	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	184	8.0	12.0
2	黄进	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	20	138	7.0	11.0
3	周信达	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	7	67	3.0	7.0
4	王凤蕊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	11	93	5.0	9.0
5	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
6	郑万国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	106	868	15.0	22.0
7	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0