冲击波平面性、稳定性实验用双边多台阶Al靶制备

• 作者: 孙涛 易泰民 杨蒙生 袁光辉 谢军 邢丕峰 郑凤成
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 双边多台阶靶 金刚石车削 冲击波 稳定性 平面性
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 95-99
• 页数: 5页
• 分类号: TG506
• 语种: 中文

摘要

多台阶靶是冲击波稳定性、平面性实验的重要实验用靶.本工作采用单点金刚石切削技术,优化工艺过程设计,完成了铝双边多台阶靶的制备.应用Veeco NT1100白光干涉仪对表面轮廓及粗糙度进行了测量.通过SPDT技术制备的具有微细双边结构的多台阶靶可满足实验要求.各台阶表面几何厚度误差小于1%,均方根粗糙度R_q小于50 nm,轮廓最大高度Tir仅在底部台阶处最大,约200 nm,其余台阶处均小于100 nm,台阶垂直度在90°±1°内.