背入射Au/ZnO/Al结构肖特基紫外探测器

• 作者: 单崇新 姚斌 张吉英 张希艳 张振中 李炳辉 申德振 范希武 赵东旭 赵延民
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 紫外探测器 背入射 Au/ZnO/Al垂直结构
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 527-530
• 分类号: O472.8
• 字数: 1875字
• 语种: 中文

摘要

设计制作了一种Au/ZnO/Al结构的紫外探测器,光的入射方式采用背入射式.ZnO薄膜是用磁控溅射在蓝宝石衬底上制备的.Ⅰ-Ⅴ测试表明:Au与ZnO形成了肖特基接触.得到探测器的光响应峰值在352nm,截止边为382nm ,可见抑制比达一个量级.由于该探测器是一种垂直结构器件,对于进一步实现ZnO紫外探测器阵列及单光子探测有很好的研究价值.