氢化铝钠反应器的化学清洗

• 作者: 吴向东 张亚辉 杨峰 潘维照
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 氢化铝钠 反应炉 氢化钠 化学清洗
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1-3
• 分类号: TE624
• 字数: 2434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2010.09.001

摘要

介绍了新硅烷法制造多晶硅的中间产物氢化铝钠的物理化学性质,并根据物料性质和设备结构,通过实验,确定了使用两台泵站同时运行的循环清洗工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张亚辉		1	1	1.0	1.0
2	杨峰		1	1	1.0	1.0
3	潘维照		1	1	1.0	1.0
4	吴向东		1	1	1.0	1.0