基于准LIGA技术的微齿轮制作

• 作者: 张元国 张立勇 王长路 路明
• 来源期刊: 机械传动
• 关键词: 微齿轮 准LIGA技术 微电镀
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 36-38
• 分类号: TH13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2539.2010.06.010

摘要

利用准LIGA技术可制造出固定的或可转动的金属微结构,被看作是影响下世纪微机械加工的一项重要技术.介绍了基于准LIGA技术的微齿轮的制作工艺,制作出了m=0.1mm,z=20的微齿轮,齿轮结构清晰,表面和齿廓曲线平滑,侧壁陡直.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立勇		10	352	5.0	10.0
2	张元国		13	115	5.0	10.0
3	王长路		25	600	12.0	24.0
4	路明		2	9	2.0	2.0