超精密柔性压电式微位移机构的研究

• 作者: 李迎春 荆丹 陶晓巍
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷微位移器件 柔性铰链 线切割 精密定位
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 133-136
• 分类号: TH703.8
• 字数: 1773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2010.12.032

摘要

设计了一种超精密压电式微位移机构,此机构以压电陶瓷作为驱动器,以对称杠杆式柔性铰链放大机构作为导向机构,弥补压电陶瓷位移行程过小的缺点.机构输出位移由原来的11.6μm放大到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位精度测试,并将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位精度由原来的1μm上升到0.01μm,定位精度得到显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荆丹	长春工业大学机电工程学院	7	36	5.0	6.0
2	李迎春	长春工业大学机电工程学院	9	34	3.0	5.0
3	陶晓巍	长春工业大学机电工程学院	10	32	4.0	5.0