厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响

• 作者: 方宏新 车晓舟 陈莲华 马洪涛
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 超薄类金刚石薄膜 厚度 结构
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 302-305
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/s11434-009-0679-0

摘要

采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜,用波长为514.5 nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构.实验结果表明,厚度影响DLC薄膜的结构.当DLC薄膜厚度从2 nm增大到30 nm时,Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移,通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小,消光系数(Ks)逐渐减小,薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大.当薄膜厚度从30 nm增大到50 nm时,ID/IG增大,Ks逐渐增大,薄膜中的spa键含量减小.