P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究

• 作者: 刘志东 汪炜 田宗军 邱明波 黄因慧
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 太阳能 电火花 线切割 模型
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 631-635
• 分类号: TG662|TN301.1
• 字数: 2750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2010.05.017

摘要

根据半导体的特殊电性能建立了抽象的放电加工模型,该模型分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件模型近似代表半导体与金属进电端的接触势垒、半导体的体电阻、极间放电的维持电压以及工作液电阻;根据所建立的模型分析发现,半导体电火花线切割具有单向导通性、击穿电压高等特点,并且加工过程中进电端会出现钝化现象.为此,研制了针对P型太阳能级硅切割的专用夹具,并对电阻率为2.1Ω·cm的P型太阳能级硅锭进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	黄因慧	南京航空航天大学机电学院	219	2593	26.0	36.0
3	汪炜	南京航空航天大学机电学院	96	639	12.0	20.0
4	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
5	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0