真空射频阻抗自动匹配方法分析

• 作者: 汪洪波 汪金新 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 射频 阻抗自动匹配 快速性 智能性
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 49-53
• 分类号: TP272
• 字数: 5002字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了真空射频电源使用时阻抗匹配的作用,阻抗自动匹配系统的实现方法,剖析了射频阻抗匹配器结构.在此基础上针对射频阻抗自动匹配目前所采用的算法和技术进行了研究,从控制系统的角度提出了从快速性、稳定性和智能性三方面来提高阻抗匹配的效率和匹配效果.最后对真空射频阻抗自动匹配系统广阔的应用前景进行了总结和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学真空科学与装备研究所	119	1027	16.0	26.0
2	汪洪波	合肥工业大学真空科学与装备研究所	52	427	12.0	18.0
3	汪金新	合肥工业大学真空科学与装备研究所	1	7	1.0	1.0