MEMS空间光调制器的研究现状与发展趋势

• 作者: 熊显名 胡放荣
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 空间光调制器 表面微加工 光束控制
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 665-669,676
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

空间光调制器是自适应光学系统中用来实时校正波前畸变的关键器件,其发展水平能够反映整个自适应光学系统的水平.基于微电子机械系统(MEMS)技术的空间光调制器具有体积小、能耗低、驱动器单元密度高以及与集成电路工艺兼容性好等优点,而成为空间光调制器领域研究的热点.详细介绍了MEMS空间先调制器的研究现状和存在的主要问题,并分析了MEMS空间光调制器的未来发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊显名	桂林电子科技大学电子工程学院	99	367	10.0	14.0
2	胡放荣	桂林电子科技大学电子工程学院	28	223	10.0	14.0