大口径光学元件五自由度抛光机械手的设计

• 作者: 宋淑梅 宣斌 李俊峰 王朋 谢京江 陈晓苹
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光学元件 多模式 抛光 机械手 位姿方程
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与光学设计
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 字数: 3577字
• 语种: 中文

摘要

多模式组合抛光大口径光学元件是提高加工效率和加工精度的有效方法.作为加工系统的重要组成部分,抛光机械手的设计是实现多模式加工的关键.分析了多模式加工的主要运动方式,提出了对抛光机械手的具体要求.设计了一种5自由度抛光机械手,介绍了其主要结构.由D-H法建立了机械手的坐标系,推导出其位姿方程并求得逆解,为后续控制系统的设计奠定了基础.