α-Al2O3衬底上6H-SiC薄膜的SSMBE外延生长

• 作者: 刘忠良 唐军 康朝阳 徐彭寿 潘国强 陈香存
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiC薄膜 蓝宝石衬底 固源分子束外延
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 308-312
• 分类号: O484
• 字数: 2926字
• 语种: 中文

摘要

采用固源分子束外延(SSMBE)技术,在α-Al2O3(0001)衬底上直接制备出了SiC薄膜.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、Raman光谱、X射线扫描、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)等实验技术,对生长的样品的结构和结晶质量进行了表征.结果表明:在蓝宝石衬底上生长出了结晶性能良好的6H-SiC薄膜,且薄膜中存在较小的压应力,这种压应力是由薄膜与衬底之间热膨胀系数的差异所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐彭寿	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	70	488	10.0	19.0
2	康朝阳	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	13	59	5.0	7.0
3	刘忠良	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	28	75	5.0	7.0
5	潘国强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	22	72	5.0	7.0
8	唐军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	19	349	7.0	18.0
9	陈香存	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	6	17	3.0	3.0