退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

• 作者: 唐利斌 姬荣斌 宋立媛 李雄军 陈雪梅
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 退火 ZnO:Al薄膜 X-射线衍射(XRD) 原子力显微镜(AFM)
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 659-662
• 分类号: TN213
• 字数: 2889字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010

摘要

采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了退火温度和退火时间对ZnO:Al薄膜结构和形貌的影响.结果显示,ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿C轴的(002)择优取向,随退火温度的升高或退火时间的适当延长,衍射峰的半高宽减小、强度增强,晶粒尺寸增大.结果表明,通过适当控制退火温度和退火时间可以得到高质量的ZnO:Al薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈雪梅		12	42	3.0	5.0
2	唐利斌		60	279	10.0	12.0
3	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
4	李雄军		24	68	4.0	7.0
5	宋立媛		10	39	3.0	5.0